微系統科技（Microsystem Technology）是以微電子製程（Microelectronic Process）為基礎，研究開發微感測元件、致動元件及微元件之訊號處理與控制，組成超小型系統。是一種將系統微小化（Miniaturization）的整合性科技，預期未來將是在科技上舉足輕重的新領域。